地面环境中宽频带、小幅值、强随机的微振动是影响超精密加工、精密测量、高精度成像等领域精度提升的关键环境因素。高精度的主动隔振技术已经成为重要的科学研究课题。针对当前磁悬浮隔振系统承载力小,难以在地面环境中应用的问题,实验室开展了基于Halbach永磁阵列的大承载高精度磁悬浮隔振系统研究,设计的磁悬浮作动器具有线性度好、控制频带宽、定位精确等优点,在主动控制领域中具有广阔的应用前景。实验室可提供使用不同环境的磁悬浮隔振平台、磁悬浮精密定位平台定制服务。联系方式:liubilong@qut.edu.cn。
隔振平台的基本参数为:
(1)体积不超过500mm×500mm×300mm;
(2)具有限位功能;
(3)具有六自由度运动控制功能,沿XYZ的移动行程不小于±3mm;
(4)最大驱动加速度不小于1g,最小驱动加速度不大于1mg;
(5)具备承载5kg有效载荷的能力;
(6)整机功耗不超过100W;
(7)相对位置控制分辨率不大于10μm,相对角度控制分辨率不大于100μrad;
(8)数据存储能力超过2GB;
(9)具备直接与计算机连接接口;
(10)隔振性能要求:总体隔振性能不低于下表所示数值。
频率范围 |
隔振效率 |
0.01~1Hz |
优于0dB |
1~10Hz |
0-20dB |
10~100Hz |
优于20dB |